臭氧与紫外线都具有杀菌消毒的功能，用于空间消毒以及水处理等，应用广泛。

臭氧是一种广谱杀菌剂，可杀灭细菌、真菌、病原体等，可瞬间完成杀菌，臭氧到处渗透杀菌无死角浓度均匀，一段时间后会自动还原为氧气，清新空气，不会产生二次污染。

紫外线照射需要长时间工作，一般照射6小时以上才会达到一定的杀菌消毒作用。杀菌车间通常会很高，紫外线照射会强度不够，也会有一定的死角，影响效果。低功率紫外线照射不能用于清洁。

当照射紫外线时或臭氧消毒时，人员都必须离开工作现场，以免对人员产生影响。